功率器件产线测试系统
实现全自动化测试过程,满足不同器件测试对测试机的要求。

本产品为IGBT、SiC等功率半导体器件提供全套功率测试解决方案,可高效实现从晶圆级到最终产品的ISO、DC、AC等全套测试,实现全自动化测试过程,并配置丰富的测试接口和功能模块选择,满足不同器件测试对测试机的要求。

产品特点
  • 01
    测试范围

    AC测试:1500V/4000A,DC测试:2000V/2000A

  • 02
    测试功能

    接触可靠性测试、ISO测试、DC测试、AC测试等

  • 03
    测试对象

    SiC/IGBT 晶圆、芯片、单管、模块,针对不同封装定制测试治具

  • 04
    测试过程

    全自动化测试过程,自动生成数据报表

  • 05
    回路杂感

    <15nH,不含待测对象及socket

  • 06
    保护功能

    过流保护阈值可设置,保护时间<2us

  • 07
    测试效率

    UPH>200,具体依据实际测试对象及测试项目确定

  • 08
    测试流程

    可根据具体要求对测试功能模块进行选择和测试流程变更

  • 09
    运行模式

    可根据不同测试要求选择各功能并行或者异步模式运行

关键参数

供电电源电压220V±10%(单相+PE),50Hz±10%,10kW

测试对象SiC/IGBT 晶圆、芯片、单管、模块

测试项Kelvin,ISO,SW,SC,Qg,DC,RgCg ,UIS等

AC测试最大电压电流1500V,多脉冲 4000A,短路12000A@10us

DC测试最大电压电流2000V,2000A

UIS测试最大电压电流3000V,200A

RgCg测试电压Vds:1500Vmax,Vgs :±40V

AC测试杂感<15nH,不包含被测器件及socket

AC测试过流保护<2us

测试效率UPH>200,具体依据实际测试对象及测试项目确定